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      第三代半導體材料減薄設備

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      浙江芯暉裝備技術有限公司

      浙江

      產品規格型號
      參考報價:

      面議

      品牌:

      芯暉裝備

      型號:

      第三代半導體材料減薄設備

      關注度:

      439

      產品介紹

      技術參數


      基本規格

      · 尺寸: 2.99 米(長)x1.42 米(寬)x1.98 米(高

      · 重量:8 噸

      設備構成

      · Loading Port(2sets)

      · 剛性主軸(2sets)

      · Chuck table(3sets)

      · 背膜清洗單元

      · 搬送單元(Robot)

      **加工尺寸

      · φ 200mm(同時兼容4”、6”、8”)

      加工方式

      · 干進,干出

      加工能力

      · 同時高效加工2 片

      生產能力

      · ≥ 6 wafers /h


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