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      半導體行業(yè)專用儀器
      
				
      >INSPECTRA光學式半導體晶圓檢測設備??
      
			
      
			
      
				
			
      
		
      
		
		
      
			
      
				
      INSPECTRA光學式半導體晶圓檢測設備??
      
				
      INSPECTRA
      
			
      
			
      
				
      
					
      
															
      
						
      
				
      
					
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      產(chǎn)品規(guī)格型號
      
			
      
				
      
	
      參考報價：
      面議
      
		
      型號：
      INSPECTRA
      	
      關注度：
      459
      					
				
      
			
      
			
      產(chǎn)品介紹
      
			
      
				
      
					
      光學系統(tǒng)陣容多樣：可提供 BF（明場）/DF（暗場）/DIC（微分干涉對比）/ 特殊光學系統(tǒng)。
      檢測工具：具備 AI-ADC 功能、多種數(shù)據(jù)輸入 / 輸出接口、檢測結果分析系統(tǒng)及配方共享功能。
      特殊晶圓適配：支持薄晶圓 / 翹曲晶圓檢測，可適配面板檢測。
      類型：硅晶圓、化合物晶圓、玻璃等
      目標缺陷尺寸：>0.5 微米
      檢測 throughput（產(chǎn)能）：>200 片 / 小時


      				
      
						
      
			
		
      
		
		
      
			
      
				
      
					
				
      
				
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      INSPECTRA光學式半導體晶圓檢測設備??
      
						
      INSPECTRA
      
						 					
      
				
      
				
      
					
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      INSPECTRA光學式半導體晶圓檢測設備?? - 459
      
				
			
      
			
      
				
      
					
					
					
									
      
					
      
					
      
			
		
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