F50 系列
 
自動化薄膜測繪
Filmetrics F50 系列的產品能以每秒測繪兩個點的速度快速的測繪薄膜厚度。一個電動R-Theta 平臺可接受標準和客制化夾盤，樣品直徑可達450毫米。(耐用的平臺在我們的量產系統能夠執行數百萬次的量測!)

測繪圖案可以是極座標、矩形或線性的，您也可以創造自己的測繪方法，并且不受測量點數量的限制。內建數十種預定義的測繪圖案。

不同的F50 儀器是根據波長范圍來加以區分的。標準的F50是****的產品。一般較短的波長(例如， F50-UV) 可用于測量較薄的薄膜，而較長的波長則可以用來測量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。

包含的內容：
集成光譜儀/光源裝置
光纖電纜
4", 6" and 200mm 參考晶圓
TS-SiO2-4-7200
BK7 參考材料
整平濾波器(用于高反射基板)
真空泵

備用燈

型號規格