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相關(guān)儀表
波譜儀器
輻射測(cè)量儀器
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實(shí)驗(yàn)室服務(wù)
其他
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建筑工程儀器
鋰電行業(yè)專用測(cè)試系統(tǒng)
農(nóng)業(yè)和食品專用儀器
危險(xiǎn)化學(xué)品檢測(cè)專用儀器
藥物檢測(cè)專用儀器
Polaris
面議
北方華創(chuàng)
Polaris
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Polaris 系列PVD金屬薄膜物理氣相沉積系統(tǒng)主要由真空傳輸平臺(tái),去氣腔室,預(yù)清潔腔室和工藝腔室組成,設(shè)備采用Cluster Tool架構(gòu),可配置多個(gè)工藝腔室、預(yù)清洗腔室和去氣腔室,適用于科研領(lǐng)域。Polaris 系列PVD為全自動(dòng)大產(chǎn)能設(shè)備,具有wafer自動(dòng)傳輸,工藝去氣,晶片表面預(yù)清潔、薄膜沉積完全自動(dòng)化等特點(diǎn)。
設(shè)備特點(diǎn)
?多種材料膜層工藝能力,低損傷,高深寬比填充能力
?獨(dú)立工藝腔室,*多可支持6個(gè)工藝模塊
?優(yōu)異的溫度,顆粒控制能力
?配置靈活、大產(chǎn)能、低運(yùn)營成本
產(chǎn)品應(yīng)用
?品圓尺寸:6、8 英寸
?適用材料:銀、鎢化鈦、金、鉑、鈦、氮化鈦、鋁等
?適用工藝:金屬電極、背面金屬化工藝等
BLT-S400
BLT-A160
BLT-S815
BLT-S1300
Scientific 4
ZC-TH30
高溫型
GPW/GAWseries
PARSTAT 3000A-DX
AMETEK 636A
VersaSCAN
NMC 508M
熱絲CVD金剛石膜沉積設(shè)備HF450
XRD-晶向定位
CVD 真空化學(xué)氣相沉積設(shè)備
等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)CVD
BTF-1200C-RTP-CVD
自動(dòng)劃片機(jī)
FM-W-PDS
Gasboard-2060
等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-PECVD
Pentagon Qlll
定制-電漿輔助化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-詳情15345079037