粉體行業(yè)在線展覽
M82 750B 6K
面議
順心谷
M82 750B 6K
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技術(shù)參數(shù)
| 項目 | 數(shù)據(jù) |
| 設(shè)備型號 | M82 750B 6K |
| 操作系統(tǒng) | SXG-MPCVD控制系統(tǒng) |
| 微波頻率 | 2450MHz,輸出功率:6KW |
| 反應(yīng)腔 | 承載功率≦10KW |
| 生長臺 | Φ2英寸 |
| 工作壓力 | 10-200Torr |
| 標準氣路 | 5路/6路(可定制) |
| 測溫系統(tǒng) | 紅外測溫,測溫范圍300~1400℃ |
| 系統(tǒng)真空密封性(氦質(zhì)譜撿漏) | <1×10-9 Torr.l/sec |
| 真空泵 | 17.1 m3/H |
| 設(shè)備尺寸 | 1500MM(長)*800MM(深)*1980MM(高) |
| 設(shè)備重量 | 490KG |
熱絲CVD金剛石膜沉積設(shè)備HF450
XRD-晶向定位
CVD 真空化學(xué)氣相沉積設(shè)備
等離子體增強化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)CVD
BTF-1200C-RTP-CVD
自動劃片機
FM-W-PDS
Gasboard-2060
等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-PECVD
Pentagon Qlll
定制-電漿輔助化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-詳情15345079037