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      KMPR 1000系列光刻膠

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      香港電子器材有限公司

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      面議

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      1194

      產品介紹

      KMPR為負性光刻膠,用作DRIE蝕刻掩膜實現高深寬比的圖案,它還被廣泛用作MEMS與生物器件的電鍍模具。因為KMPR減少了Cross-link密度,在Hard baked之前,KMPR比SU-8更容易剝離。KMPR負性光刻膠可在任何(PGMEA),或(TMAH)的顯影劑中得到顯影。

      KMPR 1000系列的特性

      1)臨時或**的應用程序

      2)膜厚:2-75 um

      3)兼容標準水性顯影劑

      4)高寬比成像和垂直側壁,深寬比:>5:1

      5)單一旋途可達100微米

      6)減少開裂

      7)優異的金屬粘附性

      8)優異的電鍍膜液穩定性

      相關溶液:

      顯影液:SU-8 Developer

      去膠液:Remover PG

      增附劑:OmniCoat

      一般儲存溫度:

      -10°C

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