粉體行業在線展覽
DH5S—MPCVD半導體級MPCVD設備
面議
德盟特
DH5S—MPCVD半導體級MPCVD設備
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| 常規配置及參數 | |
|---|---|
| 電源輸入: | 三相 380V (±10%), 15KVA |
| 微波電源功率: | 6KW(2.45GHz) |
| 樣品臺: | 2英寸可升降水冷臺 |
| 腔體生長壓力: | 10-200Torr |
熱絲CVD金剛石膜沉積設備HF450
XRD-晶向定位
CVD 真空化學氣相沉積設備
等離子體增強化學氣相沉積系統CVD
BTF-1200C-RTP-CVD
自動劃片機
FM-W-PDS
Gasboard-2060
等離子化學氣相沉積系統-PECVD
Pentagon Qlll
定制-電漿輔助化學氣相沉積系統-詳情15345079037