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	PECVD	HoFCVD
鍍膜質(zhì)量	高，有等離子體損傷	更高，無(wú)等離子體損傷
鍍膜速度	較慢（非晶硅慢，微晶硅更加慢）	較快（相比于 PECVD，非晶硅快，微晶硅更快）
設(shè)備造價(jià)	高（射頻電源、碳基載板，勻氣結(jié)構(gòu)復(fù)雜）	低（直流電源、金屬載板、勻氣結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單）
運(yùn)營(yíng)成本	一般	較低
顆粒污染	鍍膜氣壓幾十-幾百 Pa，易形成粉塵；需每天 NF3 等離子清洗	鍍膜氣壓幾 Pa，不易形成粉塵；可忽略該問(wèn)題。
載板要求	一般碳基（石墨為主），載板是PE 放電的電極之一，參與放電，所以對(duì)其導(dǎo)電性等要求很高。	一般金屬載板。載板不參與氣體分子的裂解反應(yīng)，導(dǎo)電性無(wú)要求。
繞鍍問(wèn)題	原理性問(wèn)題，需要載板、硅片的平整度和貼合程度要求很高才能避免。	可忽略。對(duì)載板、硅片的平整度、貼合程度要求低。
生產(chǎn)裝備結(jié)構(gòu)	臥式：載板、硅片水平放置，自動(dòng)化易于實(shí)現(xiàn)；粉塵顆粒易于粘附與硅片表面	立式：載板、硅片垂直放置，自動(dòng)化難度高；粉塵不易與粘在硅片表面。
鍍膜均勻性	小面積高；但面積增大難度極高（因?yàn)榈入x子體的控制難度高，有駐波效應(yīng)）。	小面積低；但面積增大容易（因?yàn)闊峤z周期性排布）
設(shè)備普及程度	高。裝備、工藝技術(shù)人員充足豐富。	低。裝備、工藝人員少。