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      產(chǎn)品

      產(chǎn)品>

      分析儀器設(shè)備>

      半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器

      >RSV系列半導(dǎo)體

      RSV系列半導(dǎo)體

      RSV系列半導(dǎo)體

      直接聯(lián)系

      蘇州銳昇聚創(chuàng)科技有限公司

      江蘇

      產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
      參考報(bào)價(jià):

      面議

      品牌:

      銳昇聚創(chuàng)

      型號(hào):

      RSV系列半導(dǎo)體

      關(guān)注度:

      790

      產(chǎn)品介紹

      RSV系列

      專為半導(dǎo)體中等,嚴(yán)苛制程使用 抽氣速率:75-3000m3/h

      采用一體型螺桿式設(shè)計(jì),獨(dú)特的軸承設(shè)計(jì),極寬泛的溫 度控制范圍50-125攝氏度,可采用特殊高鎳材質(zhì)。

      適應(yīng)于大量粉塵,高腐蝕的半導(dǎo)體工藝制程

      項(xiàng)                  機(jī)型

      單位

      RSV100

      RSV200

      RSV700

      RSV1200

      RSV1800

      RSV3000

      抽氣速率

      Pumpspeed50/60)

      L/min

      1666

      3333

      11666

      20000

      30000

      50000


      M3/H

      100

      200

      700

      1200

      1800

      3000

      極限壓力

      UItimoate Pressure

      Torr

      75×103

      Z5×10?


      mbar

      1×10~2

      1×103


      Pa

      1

      1×10-

      馬達(dá)  Motor

      顏定功率

      Rated power

      KW

      4

      5.5

      6.2

      8

      8

      15


      底壓功率

      Uitimate Pressure Power

      KW

      2.5

      3

      3.2

      3.5

      4

      11

      管路連接  Connection

      入氣口 Inlet


      KF50

      KF50

      ISO100

      SO100

      ISO160

      ISO200


      出智


      KF40

      KF40

      KF40

      KF40

      KF50

      KF50

       

      冷卻水

      Cooing water

      *   

      L/MIN

      3

      5


      **壓力

      MaxPressure

      kg/cm3

      4


      rer

      kg/cm3

      1


      濕度  Temp

      10-40


      ection


      PT 3/8


      氮?dú)?/span>

      (   )

      N2

      eure

      Mpa

      0.05-0.2


      流量 How

      slm

      6-10(Sealing gas) 0-50(Dilute)注


      necten


      Swagelok  1/4”

      尺寸Dim

      ×案×高

      mm

      940×400×503

      1192×444×650

      900×400×744

      1050×444×86

      090×444×895

      1150×460×560

      重量Weight

      kg

      270

      330

      380

      555

      730

      710



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      RSV系列半導(dǎo)體

      RSV系列半導(dǎo)體

      請(qǐng)?zhí)顚懩男彰?

      請(qǐng)?zhí)顚懩碾娫挘?

      請(qǐng)?zhí)顚懩泥]箱:*

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      RSV系列半導(dǎo)體 - 790
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