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      半導體行業(yè)專用儀器
      
				
      >濺鍍系統(tǒng)
      
			
      
			
      
				
			
      
		
      
		
		
      
			
      
				
      濺鍍系統(tǒng)
      
				
      定制款-濺鍍系統(tǒng)
      
			
      
			
      
				
      
					
      
															
      
						
      
				
      
					
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      產(chǎn)品規(guī)格型號
      
			
      
				
      
	
      參考報價：
      面議
      
	
      品牌：
      毅睿
      	
      型號：
      定制款-濺鍍系統(tǒng)
      	
      關(guān)注度：
      539
      					
				
      
			
      
			
      產(chǎn)品介紹
      
			
      
				
      
					
      濺鍍系統(tǒng)



      ?        濺鍍系統(tǒng)?主要由以下幾個部分組成：真空室、排氣系統(tǒng)、濺射源和控制系統(tǒng)。其工作原理分為抽真空、輝光放電和濺射三個階段。首先，通過抽氣系統(tǒng)將真空室內(nèi)的空氣抽出，達到所需的真空度；然后，通過高壓電離室內(nèi)氣體產(chǎn)生等離子體；*后，高能粒子轟擊靶材表面，使靶材表面的原子被濺射出來，沉積在基片上形成所需膜層?

      				
      
						
      
			
		
      
		
		
      
			
      
				
      
					
				
      
				
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      濺鍍系統(tǒng)
      
						
      定制款-濺鍍系統(tǒng)
      
						 					
      
				
      
				
      
					
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      濺鍍系統(tǒng) - 539
      
				
			
      
			
      
				
      
					
					
					
									
      
					
      
					
      
			
		
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