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      RTR濺鍍

      定制-RTR濺鍍

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      廈門毅??萍加邢薰?/p>

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      面議

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      毅睿

      型號:

      定制-RTR濺鍍

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      529

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      RTR濺鍍


                           




      主輥直徑1,000mm(φ) x600/1500mm(D)
      真空室

      5 chambers (Unwind、Pre-Heat、

      Coating 、Cooling 、Rewind

      有效涂層寬度1,350mm/500mm
      厚度15~250μm
      速度0.5~20M/min
      傳輸張力2~7Kg @1~3 m/min
      對準≤±2mm@1~3m/min
      濺射材料

      ITO 、Nb?O5,、SiO2、Si、NbzOX、Cu

      厚度均勻性≤±3%
      靶材利用率70%
      陰極Rotatable cathode 4~ 6 sets


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