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      >Preforma Uniflex? CW薄膜設(shè)備

      Preforma Uniflex? CW薄膜設(shè)備

      Preforma Uniflex? CW

      直接聯(lián)系

      中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司

      上海

      產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
      參考報(bào)價(jià):

      面議

      品牌:

      中微公司

      型號(hào):

      Preforma Uniflex? CW

      關(guān)注度:

      444

      產(chǎn)品介紹

      作為中微公司自主研發(fā)的產(chǎn)出效率高且性能優(yōu)秀的12英寸CVD金屬鎢設(shè)備,Preforma Uniflex?CW可靈活配置多達(dá)五個(gè)雙反應(yīng)臺(tái)的反應(yīng)腔,每個(gè)反應(yīng)腔皆能同時(shí)加工兩片晶圓,在保證較低的生產(chǎn)成本和化學(xué)品消耗的同時(shí),實(shí)現(xiàn)較高的生產(chǎn)效率。Preforma Uniflex?CW配備了完全擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的優(yōu)化混氣方案,自主設(shè)計(jì)優(yōu)化的分氣抽氣系統(tǒng)和真空卡盤(pán),具有優(yōu)秀的薄膜均一性、填充能力和工藝調(diào)節(jié)靈活性,對(duì)于彎曲度較大的晶圓,它也具備良好的工藝處理能力。并且其優(yōu)異的階梯覆蓋率和填充能力,可以滿足先進(jìn)邏輯器件、DRAM和3D NAND中接觸孔以及金屬鎢線的填充應(yīng)用需求。

      產(chǎn)品特點(diǎn)

      雙反應(yīng)臺(tái)及多達(dá)五個(gè)反應(yīng)腔的系統(tǒng)

      獨(dú)立小巧的反應(yīng)空間

      高效靈活的工藝調(diào)節(jié)窗口

      自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的優(yōu)化混氣方案

      自主設(shè)計(jì)的優(yōu)化氣體分配的抽氣系統(tǒng)

      自主設(shè)計(jì)的優(yōu)化真空卡盤(pán)的加熱臺(tái)

      競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)

      高生產(chǎn)效率,低生產(chǎn)成本,低化學(xué)品消耗

      優(yōu)秀的薄膜均一性和填充能力

      優(yōu)秀的工藝適應(yīng)性和兼容性

      對(duì)彎曲度較大的晶圓也具有良好的工藝處理能力


      產(chǎn)品咨詢(xún)

      Preforma Uniflex? CW薄膜設(shè)備

      Preforma Uniflex? CW

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