粉體行業在線展覽
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PRISMO D-BLUE?MOCVD設備
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中微半導體設備（上海）股份有限公司
上海
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中微公司
PRISMO D-BLUE?MOCVD設備
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中微具有自主知識產權的MOCVD設備可配置多達4個反應腔，可以同時加工232片2英寸晶片或56片4英寸晶片，工藝能力還能延展到生長6英寸和8英寸外延晶片。每個反應腔都可以獨立控制，這一設計可以實現優異的生產靈活性。PRISMO D-BLUE?是首臺被主流LED生產線采用并進行大批量LED和功率器件外延片生產的國產MOCVD設備。 首臺被主流LED生產線采用并進行大批量LED外延片生產的國產MOCVD設備PRISMO D-BLUE?
可獨立控制的反應腔運行模式 自主的實時監控系統 精準的參數控制 全自動化處理 符合半導體標準的軟件控制系統 競爭優勢產品特點
優異的工藝重復性，簡化工藝調整需求，提高產品良率 19英寸大尺寸托盤極大地提高了設備單位產能，降低了生產成本 集成頂蓋升降機構，簡化設備維護，提高設備利用率 符合SEMI S2安全標準，提升設備的安全性能
Plasma Scrubber等離子式廢氣處理設備
VOC凈化設備
Preforma Uniflex? CW
PRISMO UniMax? MOCVD設備
PRISMO HiT3? MOCVD設備
PRISMO A7? MOCVD設備
PRISMO D-BLUE?MOCVD設備
Primo Twin-Star? 12 英寸刻蝕設備
Primo nanova?12英寸刻蝕設備
Primo TSV? 高性能、高產能的深硅刻蝕設備
Primo HD-RIE?新一代電介質刻蝕產品
Primo iDEA?雙反應臺刻蝕除膠一體機
熱絲CVD金剛石膜沉積設備HF450
XRD-晶向定位
CVD 真空化學氣相沉積設備
等離子體增強化學氣相沉積系統CVD
BTF-1200C-RTP-CVD
自動劃片機
FM-W-PDS
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等離子化學氣相沉積系統-PECVD
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定制-電漿輔助化學氣相沉積系統-詳情15345079037
