工件直徑

mm

?150 / ?300

磨削方式

整面磨削 / 留邊磨削

金剛石砂輪（兼容DISCO砂輪）

mm

?300

砂輪軸數量

1

砂輪軸功率

kW

7.5

砂輪軸轉速

r/min

1000~4000

Z軸行程

mm

120

Z軸磨削進給速度

mm/s

0.0001~0.08

Z軸*小進給量

μm

0.1

硅片厚度測量范圍

μm

0~1800

厚度測量分辨率

μm

0.1

夾持方式

多孔真空吸盤

工件軸數量

1

工件軸轉速

r/min

10~300

磨削后TTV

μm

1.5

磨削后片間厚度偏差

μm

±3

精磨后表面粗糙度

Ra

10nm

外形尺寸（W × D × H）

mm

850×1760×1900

整機凈重

kg

2200