粉體行業在線展覽
ZM9230
面議
ZM9230
390
設備介紹
單軸單工位的結構設計
可適用大部分的晶圓加工要求,兼顧整面磨削和留邊磨削
主要參數 規格 單位 技術指標 工件直徑 mm ?150 / ?300 磨削方式 整面磨削 / 留邊磨削 金剛石砂輪(兼容DISCO砂輪) mm ?300 砂輪軸數量 1 砂輪軸功率 kW 7.5 砂輪軸轉速 r/min 1000~4000 Z軸行程 mm 120 Z軸磨削進給速度 mm/s 0.0001~0.08 Z軸*小進給量 μm 0.1 硅片厚度測量范圍 μm 0~1800 厚度測量分辨率 μm 0.1 夾持方式 多孔真空吸盤 工件軸數量 1 工件軸轉速 r/min 10~300 磨削后TTV μm 1.5 磨削后片間厚度偏差 μm ±3 精磨后表面粗糙度 Ra 10nm 外形尺寸(W × D × H) mm 850×1760×1900 整機凈重 kg 2200
熱絲CVD金剛石膜沉積設備HF450
XRD-晶向定位
CVD 真空化學氣相沉積設備
等離子體增強化學氣相沉積系統CVD
BTF-1200C-RTP-CVD
自動劃片機
FM-W-PDS
Gasboard-2060
等離子化學氣相沉積系統-PECVD
Pentagon Qlll
定制-電漿輔助化學氣相沉積系統-詳情15345079037