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      粉體行業(yè)在線展覽
      
				
      					
					
      
				
      
			
      
		  
      
				
		    產(chǎn)品			
      
		
      
		
		
      
			
			
		
      
		
		
		
      
			
      
			
			
      
		
      
		
		
      
			
      
				
      產(chǎn)品>
      
				
      分析儀器設(shè)備>
      
			
      半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器
      
				
      >Primo D-RIE刻蝕設(shè)備
      
			
      
			
      
				
			
      
		
      
		
		
      
			
      
				
      Primo D-RIE刻蝕設(shè)備
      
				
      刻蝕設(shè)備
      
			
      
			
      
				
      
					
      
															
      
						
      
				
      
					
      直接聯(lián)系
      
					
      中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司
      
										
      上海
      
					
					
					
                    						
      
			
      
			
      產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
      
			
      
				
      
	
      參考報(bào)價(jià)：
      面議
      
	
      品牌：
      中微公司
      	
      型號(hào)：
      刻蝕設(shè)備
      	
      關(guān)注度：
      567
      					
				
      
			
      
			
      產(chǎn)品介紹
      
			
      
				
      
					
      作為中微**代電介質(zhì)刻蝕產(chǎn)品，Primo DRIE?是12英寸雙反應(yīng)臺(tái)多反應(yīng)腔主機(jī)系統(tǒng)，可靈活裝置多達(dá)三個(gè)雙反應(yīng)臺(tái)反應(yīng)腔（六個(gè)反應(yīng)臺(tái)）。每個(gè)反應(yīng)腔都可以同時(shí)加工兩片晶圓。該設(shè)備運(yùn)用了中微具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的創(chuàng)新技術(shù)，包括甚高頻和低頻混合射頻去耦合反應(yīng)等離子體源、等離子體隔離環(huán)、以及用于控制腔體內(nèi)反應(yīng)環(huán)境的先進(jìn)工藝組件。Primo DRIE刻蝕設(shè)備可用于加工包括氧化硅、氮化硅及低介電系數(shù)膜層等所有的電介質(zhì)材料。Primo DRIE于2007年發(fā)布之后，由于其較低的生產(chǎn)成本、較高的生產(chǎn)效率和優(yōu)異的芯片加工性能，已在國際主流芯片生產(chǎn)線上投入量產(chǎn)。
      產(chǎn)品特點(diǎn)
      雙反應(yīng)臺(tái)腔體設(shè)計(jì)具有更高的產(chǎn)出效率
      雙反應(yīng)臺(tái)獨(dú)立射頻系統(tǒng)和刻蝕終端控制系統(tǒng)
      擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的射頻匹配系統(tǒng)
      擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的等離子體隔離技術(shù)
      競(jìng)爭優(yōu)勢(shì)
      高生產(chǎn)效率，低生產(chǎn)成本（CoO）
      設(shè)備占地面積小
      一體整合的除膠能力及表面電荷減除能力（Primo iDEA?系統(tǒng)）

      				
      
						
      
			
		
      
		
		
      
			
      
				
      
					
				
      
				
      產(chǎn)品咨詢
      
				
      
					
					
      
						
      Primo D-RIE刻蝕設(shè)備
      
						
      刻蝕設(shè)備
      
						 					
      
				
      
				
      
					
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      Primo D-RIE刻蝕設(shè)備 - 567
      
				
			
      
			
      
				
      
					
					
					
									
      
					
      
					
      
			
		
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