氧（O?）含量（體積分數）/10^-2≥

99.5

99.2

水（H?O）

無游離水

純氧

高純氧

超純氧

氧（O?）純度（體積分數）/10^-2≥

99.995

99.999

99.999 9

氫（H?）含量（體積分數）/10^-6≤

1

0.5

0.1

氬（Ar）含量（體積分數）/10^-6≤

10

2

0.2

氮（N?）含量（體積分數）/10^-6≤

20

5

0.1

二氧化碳（CO?）含量（體積分數）/10^-6≤

1

0.5

0.1

總烴含量（體積分數）（以甲烷計）/10^-6≤

2

0.5

0.1

水分（H?O）含量（體積分數）/10^-6≤

3

2

0.5