產品摘要

等離子清洗是一種輕微的刻蝕，等離子體的表面清洗能很快去除金屬表面的油脂、油污等有機物和氧化層，在進行濺射、油漆、粘合、鍵合、焊接、銅焊、PVD、VCD和涂覆前，用等離子處理能得到完全的潔凈和無氧化層的表面。

產品介紹

★整機外形尺寸：L750×W1000×H1800(mm)

★反應腔尺寸：520×520×H600(mm)，約150L)

★清潔尺寸：500×500mm

★射頻電源：13.56MHz，600W

★氣體流量控制：1-2路質量流量控制器（0~500SCCM）

★工作氣體：氧、氬氣，另提供一路氮氣用于冷卻樣品（高純，用戶自備）

★壓縮空氣：接口壓力大于0.5MPa（用戶自備）

★真空抽氣及測量系統：配備一臺8L機械泵，抽氣管道采用不銹鋼真空波紋管，

★控制方式：采用10寸觸摸屏+PLC組成的人機界面控制方式，操作方式包括手動模式或自動模式，在自動模式下將不同工藝參數按照配方方式管理，可同時存儲100組不同配方。使用時只需將相應配方號調出即可。