產品摘要

該系列設備為鈣鈦礦太陽能電池、OLED、鋰電池、金屬電極薄膜等產業(yè)研發(fā)專用設備，廣泛應用于高校、科研院所的不同材料薄膜制備研究。也可用于生產線前期工藝試驗等。設備可與手套箱對接方便在手套箱中操作，前滑動開門結構，設備可融入手套箱整體設計、設備機架在手套箱下方不占用額外空間。

產品介紹

設備特點：

★前后開門保證密封，前滑動開門操作輕便，氣動自動鎖緊；開后門裝料/檢修時大氣不會進入手套箱環(huán)境，后門關閉時可直接通過把手鎖緊密封

★溫控有機蒸發(fā)源采用控溫式束源爐結構擋板一體化設計保證有機材料不被污染，不僅角度可調，均勻性好還可通過進口膜厚儀聯(lián)動控制實現(xiàn)速率精確控制、摻雜等

★設備兼容有機/無機蒸發(fā),多元共蒸復合膜/分蒸獲得多層膜

★樣品臺可升降調整源-基片距離，有效節(jié)約貴重材料，降低實驗成本

★系統(tǒng)采用PLC+觸摸屏操作，整體美觀操作簡單，自動化程度高

設備參數：

★腔體尺寸（L×W×Hmm)：400×400×450/450×400×550

設備尺寸（L×W×Hmm)：950×780×1900/950×830×1900

★真空極限：優(yōu)于（2E﹣05）Pa

抽速保壓：（5E﹣04）≤20min 保壓12小時≤5pa

★膜厚均勻性優(yōu)異（±3％~±5%），重復性優(yōu)異（±3％~±5%）

★基片臺：150mm×150mm/200mm×200mm

★蒸發(fā)源：可搭配4～8組蒸發(fā)源（兼容金屬與有機），可共蒸或切換蒸發(fā)