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      半導體行業專用儀器
      
				
      >水平離子濺射鍍膜設備
      
			
      
			
      
				
			
      
		
      
		
		
      
			
      
				
      水平離子濺射鍍膜設備
      
				
      水平離子濺射鍍膜設備
      
			
      
			
      
				
      
					
      
															
      
						
      
				
      
					
      直接聯系
      
					
      杰萊特（蘇州）精密儀器有限公司
      
										
      江蘇
      
					
					
					
                    						
      
			
      
			
      產品規格型號
      
			
      
				
      
	
      參考報價：
      面議
      
	
      品牌：
      杰萊特
      	
      型號：
      水平離子濺射鍍膜設備
      	
      關注度：
      1136
      					
				
      
			
      
			
      產品介紹
      
			
      
				
      
					

      工藝參數：
      一，真空系統
      1、極限真空度：4.0×10-5Pa 
      2、抽至10Pa所用時間：≦ 10 分鐘
      3、漏率： 3.0×10-5Pa m3/sec
      二，控制精度
      1、靶材旋轉：0.005°
      2、工件旋轉:<1000RPM
      3、編碼器: 12000lines;480000Counts/rev
      4、膜厚修正板：0.005°
      5、擋板:  position switch



      				
      
						
      
			
		
      
		
		
      
			
      
				
      
					
				
      
				
      產品咨詢
      
				
      
					
					
      
						
      水平離子濺射鍍膜設備
      
						
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      水平離子濺射鍍膜設備 - 1136
      
				
			
      
			
      
				
      
					
					
					
									
      
					
      
					
      
			
		
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