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      佛山市金欣盛真空設備有限公司

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      產品規格型號
      參考報價:

      面議

      品牌:

      金欣盛

      型號:

      金欣盛陶瓷真空鍍膜設備

      關注度:

      351

      產品介紹

      磁場與電場的交互作用( E X B drift)使單個電子軌跡呈三維螺旋狀,而不是僅僅在靶面圓周運動。至于靶面圓周型的濺射輪廓,那是靶源磁場磁力線呈圓周形狀形狀。磁力線分布方向不同會對成膜有很大關系。在E X B shift機理下工作的不光磁控濺射,多弧鍍靶源,離子源,等離子源等都在次原理下工作。所不同的是電場方向,電壓電流大小而已。

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