產品詳情

團簇式OLED真空蒸鍍工藝裝備是自主“OLED真空蒸鍍工藝裝備”，是“卡脖子”的35項關鍵技術的第六項。項目技術團隊已完成G1(1代線) 和G2.5（2.5代線）的研發設計和生產制造。

項目技術團隊已經解決了大部分關鍵技術問題（如：源爐技術、精準對位技術（對位精度達到1.5μm）、精密蒸鍍電源技術、原位膜厚測量技術、高真空傳遞機械手、電控系統及自動化控制軟件等）。

公司可對外承接OLED的G1和 G2.5工藝線的設計制造。

技術指標

設備構成

應用領域

可廣泛用于OLED器件開發、量子點開發、薄膜太陽能電池器件研發、OLED微顯示的研發和生產、OLED材料驗證、VR（Micro-oled虛擬現實）、OLED照明等。