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      半導體行業專用儀器
      
				
      >全自動晶圓開槽/全切設備
      
			
      
			
      
				
			
      
		
      
		
		
      
			
      
				
      全自動晶圓開槽/全切設備
      
				
      全自動晶圓開槽/全切設備
      
			
      
			
      
				
      
					
      
															
      
						
      
				
      
					
      直接聯系
      
					
      江蘇元夫半導體科技有限公司
      
										
      江蘇
      
					
					
					
                    						
      
			
      
			
      產品規格型號
      
			
      
				
      
	
      參考報價：
      面議
      
	
      品牌：
      江蘇元夫
      	
      型號：
      全自動晶圓開槽/全切設備
      	
      關注度：
      717
      					
				
      
			
      
			
      產品介紹
      
			
      
				
      
					
      設備特點
      適合用于Low-k、氮化鋁（AlN）、氧化鋁陶瓷等材料的激光開槽
      適合用于硅、砷化鎵（GaAs）等材料，厚度200μm以下薄晶圓無崩邊高品質全切
      8/12英寸兼容，支持納秒/皮秒
      雙路多beam并行加工
      實現10-90μm開槽寬度連續可調
      可加工20μm以內超窄切割道
      整機精度：＜±2μm

      				
      
						
      
			
		
      
		
		
      
			
      
				
      
					
				
      
				
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      全自動晶圓開槽/全切設備
      
						
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      全自動晶圓開槽/全切設備 - 717
      
				
			
      
			
      
				
      
					
					
					
									
      
					
      
					
      
			
		
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