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      >TFC-6500B化學氣相沉積(MPCVD)設備

      TFC-6500B化學氣相沉積(MPCVD)設備

      TFC-6500B

      直接聯系

      碳方程半導體設備制造(山西)有限公司

      山西

      產品規格型號
      參考報價:

      面議

      品牌:

      碳方程

      型號:

      TFC-6500B

      關注度:

      1310

      產品介紹

      TFC-6500B,微波等離子體化學氣相沉積(MPCVD)設備是***的 CVD 系統。針對用戶的具體要求設計和研制的一臺多用途、高穩定中等壓強微 波等離子體(MPCVD)綜合設備。

      產品特性

      * 高純高真空不銹鋼腔體(無硅污染 )

      ★ 可95%功率高效穩定運行

      ★可單次生產7*7 mm單晶毛坯21粒

      ★ 水冷卻腔體(無風冷噪音)

      ★ 可均勻生產2 inc多晶

      ★ 產品凈度等級可達VVS級

      *生長機臺可自動調節范圍達15MM


      產品咨詢

      TFC-6500B化學氣相沉積(MPCVD)設備

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