真空室尺寸

1000×1200

1100×1200

1200×1400

1600×1800

1600×2200

制膜種類

金色氮化鈦、黑色碳化鈦、七彩氧化鈦、耐磨膜、超硬膜、金剛石膜、金屬裝飾膜等

電源類型

直流電源、中頻電源、電弧電源、燈絲電源、活化電源、脈沖偏壓電源

靶類型

多弧靶，選配中頻孿生柱靶或平面靶

真空室結(jié)構(gòu)

立式前開門結(jié)構(gòu)（雙層水套式或水槽式冷卻）、后置抽氣系統(tǒng)

真空系統(tǒng)

機(jī)械泵＋羅茨泵＋擴(kuò)散泵/分子泵＋維持泵

加熱系統(tǒng)

常溫至350度可調(diào)可控（PID控溫），不繡鋼加熱管加熱

充氣系統(tǒng)

質(zhì)量流量控制儀（1-4路）

極限真空

6×10-4pa（空載、凈室）

抽氣時(shí)間

空載大氣抽至5×10-3pa小于13分鐘

保壓率

1h≤0.6pa

工件旋轉(zhuǎn)方式

上旋轉(zhuǎn)或下旋轉(zhuǎn)＋公自轉(zhuǎn)變頻無(wú)級(jí)可控可調(diào)，0-20轉(zhuǎn)/分

控制方式

手動(dòng)＋半自動(dòng)/觸摸屏＋PLC

備注

真空室尺寸可按客戶產(chǎn)品及特殊工藝要求訂做