粉體行業在線展覽
<abbr id="epdyr"></abbr>
粉體行業在線展覽
SAB9510-半自動 超原子束TRIM機
直接聯系
青禾晶元半導體科技（集團）有限責任公司
天津
面議
青禾晶元
SAB9510-半自動 超原子束TRIM機
619
SAB9510是一款全自動的超原子束表面TRIM機，可通過Cassette自動上下料，適用于半導體薄膜超精密TRIM批量化生產。
項目
指標
晶圓尺寸
4-12寸
上料模式
Cassette自動上下料
晶圓校準
Aligner
去除效率
800 ?*cm2/s @Si
支持工藝氣體
NF3/Ar/SF6/O2/He或其他混合氣體
束流強度
＞100μA @Ar
束斑尺寸
半高寬<5mm
離子能量
60kev
SAB9510-半自動 超原子束TRIM機
SAB9500-半自動 超原子束拋光機
SAB8300-半自動 C2C TCB鍵合設備
SAB8310CW-全自動 C2W TCB鍵合設備
SAB8210CW-全自動 C2W混合鍵合設備
SAB6410TB-全自動 臨時鍵合設備
熱壓陽極鍵合設備
SAB6310-全自動 熱壓陽極鍵合設備
SAB6300-半自動 熱壓陽極鍵合設備
SAB6210 HB-全自動 混合鍵合設備
SAB6210-全自動 親水性鍵合設備
SAB6110 CST -全自動高產能 超高真空常溫鍵合設備
熱絲CVD金剛石膜沉積設備HF450
XRD-晶向定位
CVD 真空化學氣相沉積設備
等離子體增強化學氣相沉積系統CVD
BTF-1200C-RTP-CVD
自動劃片機
FM-W-PDS
Gasboard-2060
等離子化學氣相沉積系統-PECVD
Pentagon Qlll
定制-電漿輔助化學氣相沉積系統-詳情15345079037
